| 分类 |
| 分类号 | 含义 | ||||
| B | 作业；运输 | ||||
| B81 | 微观结构技术 | ||||
| B81C | 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备 | ||||
| 1/00 | 在基片内或其上制造或处理的装置或系统 |  |
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| 3/00 | 从单独处理过的部件组装装置或系统 | |
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| 5/00 | .（转入B81C 99/00） | |
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| 99/00 | 本小类其他各组中不包括的技术主题 | |
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