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分类
分类号 含义
C 化学;冶金
C30 晶体生长
C30B 单晶生长
19/00 液相外延层生长
19/02 .使用熔融态溶剂,如助溶剂的
19/06 .反应室;承载熔融液的舟皿;衬底夹持器
19/08 .反应室或衬底的加热
19/10 .控制或调节
19/12 .以衬底为特征的