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分类
分类号 含义
C 化学;冶金
C30 晶体生长
C30B 单晶生长
31/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺;其所用装置
31/02 .同固态扩散材料接触的
31/04 .同液态扩散材料接触的
31/06 .同气态扩散材料接触的
31/20 .电磁波辐照或粒子辐射法掺杂