| 分类 |
| 分类号 | 含义 | ||||
| C | 化学；冶金 | ||||
| C30 | 晶体生长 | ||||
| C30B | 单晶生长 | ||||
| 31/00 | 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置 | ||||
| 31/02 | .同固态扩散材料接触的 |  |
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| 31/04 | .同液态扩散材料接触的 | |
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| 31/06 | .同气态扩散材料接触的 | |
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| 31/20 | .电磁波辐照或粒子辐射法掺杂 | |
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