一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法
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Preparing method of light transmission hard carbon nitride thin film

申请号：201711285578.6 申请日：2017-12-07

CN201711285578 CN108165952A 微信扫码查看/分享专利	摘要：本发明公开了一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：清洗玻璃基片；以甲烷为反应气体，采用等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃基片表面沉积一层非晶碳薄膜；采用等离子体增强化学气相沉积技术对玻璃基片表面沉积的非晶碳薄膜进行氨气等离子体处理；以甲烷和氨气为反应气体，采用等离子体增强化学气相沉积技术在氨气等离子体处理后的非晶碳表面沉积一层氮化碳薄膜；在高纯氮气气氛中低温热处理氮化碳薄膜。该方法通过修饰玻璃基片表面化学键、优化氮化碳薄膜中氮原子和氢原子含量以及在氮气氛围中采用低温热处理的方法调整薄膜内应力，从而使氮化碳薄膜具有良好的硬度和透光性。 1
	Abstract： The invention discloses a preparing method of a light transmission hard carbon nitride thin film. The method comprises following steps that a glass substrate is cleaned; methane serves as reaction gas, a plasma enhanced chemical vapor deposition technique is adopted to enable an amorphous carbon thin film to be deposited on the surface of the glass substrate, a plasma enhanced chemical vapor deposition technique is adopted to carry out ammonia plasma treatment on the amorphous carbon thin film deposited on the surface of the glass substrate, methane and ammonia serve as reaction gas, the plasma enhanced chemical vapor phase deposition technique is adopted to enable a carbon nitride thin film to be deposited on the amorphous carbon surface obtained after ammonia plasma treatment; in the high-purity nitrogen atmosphere, the carbon nitride thin film is subject to low-temperature heat treatment. According to the method, through trimming of glass substrate surface chemical keys, optimizingof content of nitrogen and hydrogen atoms in the carbon nitride thin film and the low-temperature heat treatment method in the nitrogen atmosphere,, the thin film internal stress is adjusted, and thecarbon nitride thin film has the good hardness and light transmission.
	申请人：三峡大学
	Applicant： UNIV CHINA THREE GORGES CTGU
	地址： 443002 湖北省宜昌市大学路********(隐藏)
	发明(设计)人：姜礼华彭宇汪涛肖婷向鹏谭新玉
	Inventor： JIANG LIHUA; PENG YU; WANG TAO; XIAO TING; XIANG PENG; TAN XINYU
	主分类号： C23C16/34(2006.01)I
	分类号： C23C16/34(2006.01)I C23C16/513(2006.01)I C23C16/02(2006.01)I C23C16/56(2006.01)I

法律状态

2019-11-08	授权

2018-07-13	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/34申请日:20171207

2018-06-15	公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项

1.一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：

公开号

108165952A

公开日

2018-06-15

专利代理机构

宜昌市三峡专利事务所 42103

代理人

成钢

颁证日

优先权

国别	优先权号	优先权日	类型

CN	201711285578	20171207	Y

国际申请

国际公布

进入国家日期

专利对比文献

类型	阶段	文献号	公开日期	涉及权利要求项	相关页数

Y	SEA	CN1132799A	19961009	1-10	权利要求1-3，说明书第2页第1段

A	SEA	CN1219604A	19990616	1-10	全文

A	SEA	JP2010540262A	20101224	1-10	全文

A	SEA	CN102618846A	20120801	1-10	全文

Y	SEA	CN105648417A	20160608	1-10	权利要求1-3

注：不保证该信息的有效性、完整性、准确性，以上信息也不具有任何效力，仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核，使用该信息的一切后果由用户自行负责。

Ｘ：单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件；
Ｙ：与检索报告中其他Ｙ类文件组合后影响权利要求的创造性的文件；
Ａ：背景技术文件，即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件；
Ｒ：任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件；
Ｐ：中间文件，其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件，或会导致需核实该申请优先权的文件；
Ｅ：单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。

期刊对比文献

类型	阶段	期刊文摘名称	作者	标题	涉及权利要求项	相关页数

Y	SEA	《Thin Solid Films》	K.H.Lee等	“Amorphous carbon and carbon nitride multilayered films prepared by shielded arc ion plating”	1-10	第309页

K.H.LEE等: "“Amorphous carbon and carbon nitride multilayered films prepared by shielded arc ion plating”", 《THIN SOLID FILMS》